CCD线径测量传感器
CCD线径测量传感器-晶圆同心度与缺口检测
CCD线径测量传感器-晶圆同心度与缺口检测

行业痛点与需求:在芯片封测环节,对晶圆进行定心检测和缺口检测,以精确定位晶圆圆心和缺口位置,提高晶圆切割准确度和芯片生产良品率。

解决方案:采用富唯高精度CCD线径测量传感器,通过测量数据计算圆心位置,纠偏传感器对晶圆缺口定位,实现晶圆中心和缺口位置精准定位。